[工學][반도체] 포토리소그래피에 관한 조사[포토리소그래피의 원리, 작업공정, 사용 범위등에 대해]
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작성일 22-10-07 15:54
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예전에는 상상으로만 해왔던 모든 일들이 지금 현실로 이루어져 있고, 앞으로는 어떠한 기술이 나타나게 될지 항상 기대하고 상상하게 한다. 말 그대로 석판인쇄술이라고 할 수 있따 여기서 기원한 것이 리소그라피이다.
이것은 미술에 응용되기도 하고 오늘날에는 `포토리소그라피`라 하여 빛을 이용하여 그리는 것으로 반도체와 LCD공정에 이용된다
포토리소그래피는 반도체 기판 위에 패턴을 형성하는 기술을 의미하는데 이는 판화를 만들어 내는 과정과 유사성이 있따 원판으로부터 수업이 많은 판화를 종이 위에 찍어 낼 수 있듯이 포토리소그래피의 경우 마스…(투비컨티뉴드 )
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[반도체] 포토리소그래피에 관한 조사[포토리소그래피의 원리, 작업공정, 사용 범위 등에 대해]
목 차
1. 서론
2. 본론
1) Photoresist coat(PR코팅)
2) Soft Bake
3) Photo exposure
4)Develop
5)Hard bake
3.結論
1. 서론
시대는 變化하고 그 시대에 變化에 따라 과학기술 또한 매우 발전하였다.
이러한 과학기술의 발전으로 인해 우리는 지금 매우 편리한 생활을 하고 있따 현대사회의
일상생활에서 누구나가 흔히 사용하는 컴퓨터, 스마트폰 등에는 반도체 소자가 core 부품으로 사용되는데 반도체 소자는 수십에서 수백 나노미터 크기의 패턴으로 이루어져있따
반도체 소자의 크기는 패턴의 크기에 달려 있기 때문에 패턴의 크기를 줄여 반도체 소자의...
[반도체] 포토리소그래피에 관한 조사[포토리소그래피의 원리, 작업공정, 사용 범위 등에 대해]
목 차
1. 서론
2. 본론
1) Photoresist coat(PR코팅)
2) Soft Bake
3) Photo exposure
4)Develop
5)Hard bake
3.結論
1. 서론
시대는 變化하고 그 시대에 變化에 따라 과학기술 또한 매우 발전하였다.
따라서 나는 이러한 core적인 역할을 한 포토리소그래피에 대해 살펴보고 더 나아가서는 포토리소그래피의 원리, 작업공정, 사용 범위등에 대해 알아보고자 한다. 인쇄술이라는 것은 자신이 원하는 대로 디자인하여 그리는 것을 말한다.
이러한 과학기술의 발전으로 인해 우리는 지금 매우 편리한 생활을 하고 있따 현대사회의
일상생활에서 누구나가 흔히 사용하는 컴퓨터, 스마트폰 등에는 반도체 소자가 core 부품으로 사용되는데 반도체 소자는 수십에서 수백 나노미터 크기의 패턴으로 이루어져있따
반도체 소자의 크기는 패턴의 크기에 달려 있기 때문에 패턴의 크기를 줄여 반도체 소자의 집적도를 높이는 것이 반도체 생산 공정에서는 매우 중요하다. 예전에는 상상으로만 해왔던 모든 일들이 지금 현실로 이루어져 있고, 앞으로는 어떠한 기술이 나타나게 될지 항상 기대하고 상상하게 한다. 반도체 소자의 집적도는 매년 꾸준하게 증가하였으며 여기에 가장 core적인 역할을 한 것이 바로 포토리소그래피이다.
2. 본론
리소그라피는 리소(돌) + 그라피(인쇄술)의 합성어이다.
